- 產品名稱:無塵機器人
- 所屬分類:川崎無塵工業機械手
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參數介紹:
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川崎無塵機器人
用于半導體和電子行業
高性能專用搬運機器人
川崎提供了業界領先的全系列半導體和電子搬運機器人。這些機械手是專為在無塵室中應用而制造的,包括ISO 1級。速度、準確度以及伸展范圍使這些機械手適合搬運精密的半導體晶圓、LCD面板、有機EL,以及太陽能電池板。
1.動作順滑
NTS和TTS系列可以用一臺機械手在沒有走行裝置的情況下對應從2FOUP到3FOUP的EFEM。配有川崎獨有的驅動部分,能夠實現高精度、高剛性的動作。
2.獨特的上下軸伸縮式結構
TTS系列繼承了NTS系列的特征,采用了上下軸伸縮式的結構,無論是想將物品搬至高處或是低處,此設備都能做到。
3.以SEMI STANDARD為基準
NTS系列和TTS系列都可對應SEMI-F47以及SEMI-S2規格。充分考慮環境及安全。
川崎機器人總代理:昆山悅普達自動化機械手專業銷售,提供完善的自動化規劃方案,強有力的產品供應,專業的技術調試和全方面的售后團隊服務。報價請聯系本公司電話。
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關鍵詞:無塵機器人,搬運機器人
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